AMEC直流电源维修 PDB30-80/500-T380 半导体电源维修
20年专注AMEC直流电源维修 半导体电源维修 中微半导体电源维修
维修范围:半导体、刻蚀、RIE、平行板、ICP、pecvd、射频溅射、CVD 和PVD等系统,工业系统中感应加热和电介质加热设备的电源,烘干、塑化、硅晶体生长和平板显示器领域应用电源,直流偏压和硬镀膜,信息设备(ITE)及轻工业系统、镀膜设备。 从事大功率射频RF电源及匹配器维修,为太阳能光伏、半导体、液晶面板、镀膜行业维修PVD、CVD、PECVD、MOCVD、ION IMP设备电源,包括直流、高压、脉冲、微波、匹配器、RPSC、CHILLER射频电源维修。
主要服务于太阳能光伏、PVD镀膜,半导体薄膜、离子注入、刻蚀,平板显示,光盘、光电子LED等制造工艺以及科研院校、技术研究所等设备的高压、直流、射频电源。主要包括高压电源HV PSU、射频电源RFG、匹配网络RF Match、直流电源DC POWER、温度控制器Thermo Chiller,微波发生器等,提供设备维护维修保养整包、批量产品维修。
RF MATCH用于提供稳定的高频电源,其工作频率范围在13.56MHz到27.12MHz之间。如果这个设备出现故障,将会对整个系统产生灾难性的影响,会导致整个系统崩溃。当这个设备出现故障时,需要尽快进行维修,以确保整个系统的正常运行。